FHR FLA 100-DL

• Составная лабораторная установка импульсного отжига в условиях вакуума и среде рабочего газа
• Размер подложек: пластины диаметром 4”, с использованием адаптера — 3”, 2”, а также подложки прямоугольной или иной формы
• Подложкодержатель: хромоникелевая кассета с кварцевыми фиксаторами
• Герметизированное витоном устройство перемещения пластин
• Количество импульсных ламп: 9 шт. со специальным рефлектором
• Длительность импульса лампового отжига: 20 мсек, 3 мсек
• Длина импульсной волны: 400 ÷ 800 нм
• Энергетическая плотность потока: до 80 Дж/см²
• Электрическая мощность (20 мсек): 3,6 МВт
• Максимально достижимая температура: до 1500°C
• Блок предподогрева электрической мощностью 8 кВт обеспечивает температурный диапазон до 800°C, однородность температуры по поверхности подложки 1,5%, максимальную скорость нагрева 50 К/сек; точность поддержания температуры ±1% контролируется пирометром при компьютерном управлении процессом
• Инертный газ: аргон (Ar), через регулятор массового расхода
• Рабочее давление: от 1 х 10^-5 мбар до атмосферного давления
• Габариты: 1600 х 1500 х 3000 мм

к списку